XQ15-GI 激光平面干涉儀

技術(shù)參數(shù)：
1、第一標(biāo)準(zhǔn)平面（A面），工作直徑D1=φ146mm，平面的面形偏差小于0.03μm（λ/20）
2、第二標(biāo)準(zhǔn)平面（B面），工作直徑D2=φ140mm，平面的面形偏差小于0.03μm（λ/20）
3、準(zhǔn)直系統(tǒng)：工作直徑φ146mm，孔徑F/2.8，焦距f=400mm
4、測微目鏡：焦距f=16.7mm；
5、視場角：2W=40?；放大倍數(shù)β=15X
6、成像物鏡：D=7，F(xiàn)=16
7、光源規(guī)格：ZN18（He-Ne）
8、干涉室尺：φ480*380*285mm

可選配攝像裝置